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氮化铝薄膜和高频滤波器

商业计划及前景

应用于智能手机和基站的高频滤波器,替代进口,希望 打入百亿美元的滤波器市场。

项目简介

高效率制备高品质氮化铝薄膜,并研究应用于4G、5G通信(智能手机和基站)的高频滤波器。制备薄膜质量高于现有 工艺,制备效率提高十倍以上。作为制备滤波器的关键薄膜 性能指标,薄膜的取向性良好(XRD摇摆曲线半高宽2度左右), 薄膜表面起伏小于1纳米;薄膜制备效率比传统工艺提高10 倍以上。

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